负性光刻胶产业园项目资金申请报告_模板范文



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1、泓域咨询/负性光刻胶产业园项目资金申请报告目录第一章 项目建设背景及必要性分析6一、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶6二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶6三、 推动城乡协调发展、城市品质提升7四、 立足国内大市场,打造畅通国内国际双循环的重要连接点11第二章 项目基本情况13一、 项目名称及投资人13二、 编制原则13三、 编制依据14四、 编制范围及内容15五、 项目建设背景15六、 结论分析18主要经济指标一览表20第三章 建筑工程可行性分析23一、 项目工程设计总体要求23二、 建设方案24三、 建筑工程建设指标24建筑工程投资一览表25第四章 建设方案与产品规划
2、27一、 建设规模及主要建设内容27二、 产品规划方案及生产纲领27产品规划方案一览表28第五章 发展规划分析29一、 公司发展规划29二、 保障措施35第六章 运营模式37一、 公司经营宗旨37二、 公司的目标、主要职责37三、 各部门职责及权限38四、 财务会计制度41第七章 人力资源分析49一、 人力资源配置49劳动定员一览表49二、 员工技能培训49第八章 原材料及成品管理52一、 项目建设期原辅材料供应情况52二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理52第九章 环保分析53一、 编制依据53二、 环境影响合理性分析54三、 建设期大气环境影响分析55四、 建设期水环境影响分析56五、
3、建设期固体废弃物环境影响分析57六、 建设期声环境影响分析57七、 建设期生态环境影响分析58八、 清洁生产59九、 环境管理分析60十、 环境影响结论64十一、 环境影响建议64第十章 投资估算及资金筹措65一、 编制说明65二、 建设投资65建筑工程投资一览表66主要设备购置一览表67建设投资估算表68三、 建设期利息69建设期利息估算表69固定资产投资估算表70四、 流动资金71流动资金估算表72五、 项目总投资73总投资及构成一览表73六、 资金筹措与投资计划74项目投资计划与资金筹措一览表74第十一章 经济收益分析76一、 基本假设及基础参数选取76二、 经济评价财务测算76营业收入
4、、税金及附加和增值税估算表76综合总成本费用估算表78利润及利润分配表80三、 项目盈利能力分析80项目投资现金流量表82四、 财务生存能力分析83五、 偿债能力分析84借款还本付息计划表85六、 经济评价结论85第十二章 风险分析87一、 项目风险分析87二、 项目风险对策89第十三章 项目招标方案91一、 项目招标依据91二、 项目招标范围91三、 招标要求91四、 招标组织方式92五、 招标信息发布93第十四章 总结分析94第十五章 附表97主要经济指标一览表97建设投资估算表98建设期利息估算表99固定资产投资估算表100流动资金估算表101总投资及构成一览表102项目投资计划与资金筹
5、措一览表103营业收入、税金及附加和增值税估算表104综合总成本费用估算表104利润及利润分配表105项目投资现金流量表106借款还本付息计划表108第一章 项目建设背景及必要性分析一、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶伴随着光刻工艺的不断发展,光刻用化学品也在飞速发展,主要的光刻用化学品包括有光刻胶、抗反射层、溶剂、显影液、清洗液等。在这些化学品中,光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成具有最高的价值,也是整个半导体制造工艺中最为关键的材料之一,有着“半导体材料皇冠上的明珠”之称。组成成分:光刻胶主要由成膜树脂、溶剂、感光剂(光引发剂、光致产酸剂)、添加剂(表面活性剂、匀染剂等)等部分组成。典型的
6、光刻胶成分中,50%90%是溶剂,10%40%是树脂,感光剂占1%8%,表面活性剂、匀染剂及其他添加剂占比则不到1%。分类标准:对于半导体光刻胶的分类有多种标准,常用的分类标准包括有:(1)以曝光后光刻胶在显影液中的溶解度变化分为正性光刻胶和负性光刻胶;(2)针对正性光刻胶以是否使用化学放大(ChemicallyAmplified)机制可分为化学放大型光刻胶和非化学放大型光刻胶;(3)以所使用的光刻工艺可分为紫外宽谱光刻胶、g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶、EUV光刻胶、电子束光刻胶等。二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶在20世纪90年代初期,半导体光刻
7、工艺的技术节点已发展至线宽0.25m,i线光刻技术及重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶已不能满足如此高的分辨率要求,因此人们开始寻求适用于具有更短波长的深紫外(DeepUltra-Violet,DUV)的光刻胶体系,即DUV光刻胶。当时的KrF和ArF等深紫外光刻机的曝光剂量都比较低,对于量子产率只有0.20.3的重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶而言,只有极大程度地提高其灵敏度,最终曝光所产生的图像的对比度才能满足要求。此外,当光线从光刻胶顶部向光刻胶底部传播时会被逐渐吸收,如果底部光强不足,外加光刻胶灵敏度较低,则最终容易形成梯形形貌。梯形形貌会明显影响后续工艺的正常进行,从而限制光刻工艺分辨率的进一
8、步提升。因此,提高光刻胶灵敏度的“化学放大”势在必行。1982年,美国IBM公司Ito和Wilson等人正式提出了化学放大型光刻胶(ChemicallyAmplifiedResist,CAR)的概念。化学放大型光刻胶在光引发下能够产生一种催化剂,促使光化学反应迅速进行或者引发链式反应,从而快速改变基质性质进而产生图像。化学放大型光刻胶通常由聚合物骨架、光致产酸剂(Photo-AcidGenerator,PAG)、刻蚀阻挡基团、酸根、保护基团、溶剂等组成。三、 推动城乡协调发展、城市品质提升立足经济特区、省域副中心城市定位,坚持城乡统筹、区域协调,突出以人为本、文化传承,健全区域协调发展体制机制
9、,完善新型城镇化方法路径,构建科学合理的国土空间布局和支撑体系。(一)构建国土空间开发保护新格局落实主体功能区战略,加快建立健全国土空间规划体系,科学划定生态保护红线、永久基本农田、城镇开发边界“三条控制线”,优化市域国土空间开发保护格局。推进土地要素市场化配置,加快建设城乡统一的建设用地市场,完善农村集体经营性建设用地流转政策。深化建设用地使用权地上、地表和地下分层设立、分层供应政策,推动空间立体开发。提升节约集约用地水平,强化产业项目投资建设管理,提高土地产出效益。探索自然资源统一确权登记,逐步建立自然资源全要素数据库和大数据管理服务平台。(二)推动老城市焕发新活力以小公园开埠区为重点,通
10、过“赋能、置换、运营”方式推进保育活化,按程序积极申报列入国家、省历史文化街区,保护好历史建筑和革命遗址,促进高品位步行街和老字号传承创新发展。实施城市更新行动,在加强历史文化街区保护的前提下开展城市基础设施建设,有机嵌入现代城市功能。大力推进老旧小区改造,完善配套设施,鼓励合理配建停车设施,因地制宜增设电梯,提升社区宜居水平。坚持城乡“一张网”,推进全市供水管网、排水管网、燃气管网建设。(三)促进区域协调发展合理确定城市规模、人口密度、空间结构,推动中心城区与各城市功能组团优势互补、错位发展,建设一批产城融合、职住平衡、生态宜居、交通便利的新城镇,加快城市提质升级,促进城乡协调发展。金平区要
11、强化产业支撑,挖掘城市文化历史内涵,加快城区扩容提质和旧城片区改造,推动人文、景观、建筑和空间发展协调一致;龙湖区要全面深化改革开放,打造商贸金融中心、高铁枢纽中心、创新创业中心;澄海区要重点加快六合现代产业园区建设,完善升级玩具动漫全产业链,发展创意设计产业;濠江区要依托广澳港、综合保税区,规划建设海上风电母港,加快打造以港航为中心的现代化临港新区,打造全省基层治理和乡村振兴样板;潮阳区要加快海门产业片区和金浦产业片区建设,培育若干个百亿元级先进制造业集群,焕发千年古都新活力;潮南区要加快练江滨海生态发展示范片区、南山智慧产业片区等平台建设,推动纺织服装、精细化工产业高端发展,打造产业转型升