美军标光洁度检验培训

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1、光学光学QE 李冰晶李冰晶 2008.3.29 目录1.光洁度 1.1 光洁度标准的来源 1.2 光洁度名词的定义 1.3 划痕分析 1.4 麻点分析 1.5 其他不良分析 2.抽样比例 2.1 抽样检测的定义 2.2 抽样检测的流程 2.3 一次抽样流程 2.4 抽样检测类型 2.5 抽样图表识别 2.6 简易抽样图表识别1.1光洁度标准的来源 我司采用的光洁度标准源于美军标MIL-PRF-13830B，对于道子和点子的具体大小，我们根据对美军标规定的军标板进行的实际测量得出，并根据美军标的定义设定了高意光学的光洁度标准。 同时，我们参考了Newport，Avanex，Oplink，JDSU

2、等公司的光洁度标准，从我司与这些公司的实际测量比对上看，我司的光洁度标准定义是比较合理的。1.2光洁度名词的定义表面缺陷：高意光学光洁度定义对表面缺陷用以 “ / ”或“ - ”连接的两个数字来表示表面缺陷的大小。 例如 40/20（或40-20）前者规定了划痕大小，后者规定了麻点大小。 划痕（也叫道子、亮路）：若客户无特殊要求，规定长宽之比大于等于4:1的缺陷为划痕，它是元件表面上的任何狭长的痕迹或磨损。它对光非常敏感 。麻点（也叫点子、斑点、坑点）：若客户无特殊要求，规定长宽之比小于4:1的表面缺陷为麻点，它是元件抛光、镀膜表面上的粗糙小斑点。它对光不敏感。注：长宽之中的长宽指表面缺陷的长

3、度与宽度的最大尺寸 1.2光洁度名词的定义气泡：元件内部的球形气穴。 灰斑：指元件表面抛光不完全的灰色物，它来源于磨砂遗留物。等效直径（产品的实际外观尺寸）: 非圆形零件的计算直径应取相等面积圆的直径。 对于长与宽的比小于5:1的长方形元件 等效直径=（长+宽）2 对于长与宽的比大于5:1的长方形元件 等效直径=(长宽) 2 （3.14）缺陷间距离：两缺陷间的最小距离1.2光洁度名词的定义有效孔径：若图纸有要求则按图纸，否则按80控制。 例如产品通光面长宽为1mm1mm，图纸要求90有效孔径，那么我们取其边长的90，即有效孔径为0.9mm0.9mm。 不同区域光洁度要求：当元件的不同区域表面光

4、洁度要求不一样时，等效直径的计算分区域进行： 表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域） 表面质量要求低的外区域，有效孔径外的光洁度可降两档（只适用于抛光表面，对镀膜表面只需保证有效通光孔径内的光洁度即可，除非客户另有要求），但是等效直径计算的是整体元件的(包括内区域)。 例如元件表面质量要求不同， 则在判定A区是否符合要求时， 应取内圆直径（D1）进行计算。 而B区则取整个元件的圆直径（D2） A区区20-10B区区60-40D1D21.2光洁度名词的定义检测设备与检测方法：若定单有明确要求，按定单要求检验，若无要求则按以下方式检验 。 1)当元件等效直径2mm 检测方

5、法：用放大倍率40倍的体式显微镜通过透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面 检测设备：体视显微镜自带灯 2)当 2mm元件等效直径10mm 检测方法：检验时产品与灯泡的距离在灯罩下方0-3cm,灯罩前方0-5cm, 眼睛与产品的距离为10-20cm，8倍放大镜用透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面 检测设备：60瓦白炽灯，黑背景 3)当元件等效直径10mm, 检测方法：检验时产品与灯泡的距离在灯罩下方0-3cm,灯罩前方0-5cm,眼睛与产品的距离为10-20cm.通过肉眼观察用透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面。 检测设备：60瓦白炽灯，黑背景练习一问题：1.某玻璃元件上有一个长3mm，宽0.5m

6、m的缺陷，请问此缺陷属于点子还是道子？2.某产品长4mm，宽2mm，请问它的等效直径是多少？3.某产品通光面为10mm10mm，有效孔径80，请问有效孔径面积是多少？4.某产品通光面为5mm5mm，有效孔径80，有效孔径内要求光洁度10/5，有效孔径外要求光洁度40/20，请问有效孔径内和有效孔径外判定的等效直径分别是多少？5.某产品通光面为3mm3mm，请问用何种设备进行光洁度检测？练习一解答答：1. 3:0.56:1 大于4:1 为划痕2. 4:22:1 小于5:1 等效直径（42） 2 3mm3. 有效孔径（100.8） （100.8）8mm8mm4. 有效孔径内等效直径（50.8） （

7、50.8）4mm4mm 有效孔径外等效直径5mm5mm5. 等效直径（3+3） 2 3mm 2mm 3mm 10mm，应采用8倍放大镜在60瓦台灯下，黑背景检测1.3划痕分析划痕宽度定义： 10# 划痕宽度为0.005mm, 20# 划痕宽度为0.010mm, 40# 划痕宽度为0.020mm, 60# 划痕宽度为0.030mm, 80# 划痕宽度为0.040mm,120# 划痕宽度为0.060mm, 即划痕宽度（划痕# 0.0005）mm1.3划痕分析最大划痕定义：划痕级数等于表面质量要求中前面的数字。例如：光洁度要求为60-40则最大划痕为60#划痕 可忽略划痕定义：宽度0.02mm，所以

8、元件不合格。1.3划痕分析判断标准二判断标准二 当元件的划痕级数小于表面质量要求的划痕级数时，累加所有划痕长度之和应小于元件等效直径的1/2，且单条划痕长度应小于等效直径的1/4，否则判定为不合格。 例如：一个元件光洁度要求40/20，通光面长宽为4mm4mm，表面有宽0.015mm、长0.8mm划痕一条，宽0.01mm、长0.7mm划痕两条，问此元件是否合格？判断过程：判断过程：1.计算等效直径（4+4）24mm2.判定所有划痕宽度是否满足道子宽度要求。40道子要求宽度最大0.02mm，0.015mm0.02mm，0.01mm0.02mm。满足要求。3.判定单条划痕长度是否满足小于等效直径的

9、1/4。0.8mm1mm，0.7mm2mm。不满足要求。5.判定元件质量：不合格。1.3划痕分析判断标准三判断标准三 密集划痕判定：当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕，即在元件中任何一个等效直径为6.35mm的区域，不允许有4条或4条以上的大于或等于10#划痕例如：元件光洁度要求20/10，图中的小圈区域等效直径为5mm，内有4条划痕，划痕宽度分别为0.006mm，0.007mm，0.008mm，0.006mm，请问产品是否合格？判断过程：判断过程：1.等效直径5mm6.35mm，需要密集划痕判定2.等效直径区域内有4条划痕，划痕宽度均 大于0.005mm，

10、即大于10划痕。3.判定元件质量：不合格20mm密集划痕示意等效直径5mm问题： 有一长25mm宽15mm的元件，元件的表面质量要求为40-20，此元件是否合格？并写出理由. 练习二宽度0.015mm划痕长3mm宽度0.005mm划痕长1mm宽度0.01mm划痕长2.5mm练习二解答答：元件等效直径=（25+15）2=20mm 光洁度要求40-20则最大划痕宽为0.02mm 单条划痕宽要求0.02mm，3条划痕均满足条件 单条划痕长要求204=5mm，3条划痕均满足条件 累加划痕长=3+1+2.5=6.5mm202=10mm 满足条件 结论：合格1.4麻点分析麻点定义： 5# 麻点直径大小为0