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1、洁净室培训洁净室培训洁净间基础知识25洁净室及洁净区洁净度等级26洁净室管理四大原则29洁净室内注意事项54目录洁净室的用途1洁净室的用途洁净室的用途洁净室洁净室CleanroomCleanroom: :空气悬浮粒子浓度空气悬浮粒子浓度受控的房间。它受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如其它有关参数如温度温度、湿度湿度、压力压力等按要求进行控制等按要求进行控制。摘自GB50073-2001洁净厂房设计规范由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中
2、就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景背景什么是洁净室？什么是洁净室？1,00010,00010,000,0001,000,000100,000各种条件下微尘状况各种条件下微尘状况尘埃粒直径（单位：尘埃粒直径（单位：mm）0.00010.00010.0010.0010.010.010.10.11.01.01010100100100010001000010000香烟的烟香烟的烟颜料颜料烟烟硅砂硅砂花粉花粉植物孢子植物孢子水泥水泥人的头发人
3、的头发重工业发出的粒子重工业发出的粒子病毒病毒细菌细菌化学物质化学物质0.5 0.5 mm尘埃粒子直径的示意图尘埃粒子直径的示意图252535357 78 82525空气中漏入空气中漏入原料中带入原料中带入设备运转产生设备运转产生生产过程产生生产过程产生人员因素造成人员因素造成摘自GB50073-2001洁净厂房设计规范灰尘又是如何产生的呢？灰尘又是如何产生的呢？荧光灯全部消失的场合。一般事务室里拍摄的例子一般事务室里拍摄的例子左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿无尘服走路时候发尘的样子。走路时候发尘样子对比走路时候发尘样子对比左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击无尘服时
4、发尘的样子。拍击工作服时产生的尘埃粒子对比拍击工作服时产生的尘埃粒子对比作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。无尘室内的事例无尘室内的事例使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。浮游粒子浮游粒子左边是普通纸，右边是无尘纸。纸张的发尘对比纸张的发尘对比左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。胶带和手套的发尘例子胶带和手套的发尘例子左边是电钻发尘的样子。右边是真空泵发尘的样子。电动工具的发尘例子电动工具的发尘例子吸尘器各地方排气泄漏的样子。吸尘器排气的例子吸尘器排气的例子打喷嚏时瞬间发生的飞沫。打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子从胳膊发汗条件创造。
5、发汗现象发汗现象香烟烟雾的粒子。吸烟的例子吸烟的例子 静坐时产生的尘粒数约静坐时产生的尘粒数约 10,000 10,000 轻微运动时产生的尘粒数约轻微运动时产生的尘粒数约 100,000100,000 剧烈运动时产生的尘粒数约剧烈运动时产生的尘粒数约 10,000,000 10,000,000 运动时产生的尘埃粒子数量运动时产生的尘埃粒子数量0.0.5 5m m1 1m mPre-filterBag-filter95%9095%99.99%HEPA filterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.30.3m m0.0.1 1m m工作区域密封条外框过滤器介质波浪型隔离体褶
6、皱状滤纸外框热溶胶热溶胶（多处加工）外框滤纸HEPA HEPA FilterFilter高效过滤器高效过滤器H High igh E Efficiency fficiency P Particulate articulate A Air Filteir Filter rULPA ULPA FilterFilter高效过滤器高效过滤器U Ultra ltra L Low ow P Penetrationenetration A Air Filterir Filter灰尘是如何去除的呢？灰尘是如何去除的呢？灰尘是如何去除的呢？灰尘是如何去除的呢？洁净室的空气净化电子式风量罩电子式风量罩新新风风粉尘
7、检测仪粉尘检测仪正压正压Relief DamperRelief Damperu人员管制uAIR LOCK 气锁功能，防止交叉污染u风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。传递箱传递箱 (PASS BOX) (PASS BOX) u 做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压u 可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入u 进出口具有不可同时开启的联锁控制，以达到防止交叉污染 照明照明u 无尘室之照度一般要求700Lux以上u 泪滴型照明灯具u 嵌入式照明灯具110221002410431000237102
8、358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000国家标准 GB 50073-2001洁净室及洁净室及洁净区洁净洁净区洁净度等级度等级洁净室的管理洁净室的管理4 4大原则大原则不让不让灰尘灰尘产生产生 过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风 洁净室需保持一定的正压洁净室需保持一定的正压 作业人员需穿洁净服并经风淋作业人员
9、需穿洁净服并经风淋 带入的工具、材料等必须擦洗带入的工具、材料等必须擦洗干净干净不将不将灰尘灰尘带入带入迅速迅速排除排除灰尘灰尘不让不让灰尘灰尘堆积堆积 清扫作业不留死角，特别是清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围不易清扫的角落和设备周围 尽量减少风管、配管暴露于尽量减少风管、配管暴露于洁净室内洁净室内 实施标准化的清扫作业实施标准化的清扫作业 正确穿着洁净服正确穿着洁净服 不使用容易发尘的物品及材料不使用容易发尘的物品及材料 减少不必要的人员走动减少不必要的人员走动 不用的物品严禁带入不用的物品严禁带入 增大换气次数增大换气次数 设备发尘部位应有排气设备发尘部位应有排气 室内的气
10、流形式应使得灰尘室内的气流形式应使得灰尘难以在产品上附着难以在产品上附着不将灰尘带入不将灰尘带入过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风穿洁净服经过风淋室穿洁净服经过风淋室带入的工具、材料等必须擦洗干净带入的工具、材料等必须擦洗干净防止作业服和皮肤的发尘防止作业服和皮肤的发尘不让灰尘产生不让灰尘产生正确穿着无尘服打卡进洁净室打卡进洁净室脱鞋并存放柜子里脱鞋并存放柜子里从消毒鞋柜里取长筒靴从消毒鞋柜里取长筒靴穿连体无尘服穿连体无尘服戴无尘帽戴无尘帽戴口罩戴口罩穿长筒靴穿长筒靴着装完毕着装完毕确认着装状态确认着装状态取出无尘服、口罩取出无尘服、口罩防
11、止头发和肤屑的掉落防止头发和肤屑的掉落防止口中散发细菌防止口中散发细菌防止作业服的下摆发尘防止作业服的下摆发尘普通作业服放进更衣柜普通作业服放进更衣柜不让灰尘不让灰尘产生产生u 正确使用风淋室去除鞋底灰尘和异物去除鞋底灰尘和异物风淋结束后走出风淋室风淋结束后走出风淋室拍拍腋下灰尘，至少转一圈，拍拍腋下灰尘，至少转一圈，风淋风淋1515秒秒/ /次。次。进入风淋室进入风淋室禁止触碰感应器，躲避风淋禁止触碰感应器，躲避风淋禁止掰动风淋口禁止掰动风淋口同时进入风淋室同时进入风淋室不可以超过不可以超过2 2人人禁止推玻璃，开风淋室门禁止推玻璃，开风淋室门u 使用风淋室注意事项照相机照相机手机手机木木栈
12、栈板板+纸纸箱箱食品食品铅铅笔笔+橡皮橡皮香烟香烟+打火机打火机化化妆妆品品保保丽龙丽龙物品物品白板笔白板笔+白板擦白板擦未清未清洁洁物品及工具物品及工具洁净室严禁品举例洁净室严禁品举例*洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、不使用物品、未清洁物品及工具等无无尘尘打印打印纸纸防静防静电圆电圆珠笔珠笔美工刀美工刀防静防静电电椅椅温湿度温湿度计计手持式粉手持式粉尘检测仪尘检测仪防静防静电电手套手套静静电电防防尘尘口罩口罩耐高温胶耐高温胶带带除静除静电绳电绳洁净室专用物品举例洁净室专用物品举例*洁净室必须使用专用物品清扫区域要点图不让灰尘堆积不让灰尘堆积- -洁净室清洁规范洁净室清洁规范A A ：楼承
13、板及天花板上梁清扫：楼承板及天花板上梁清扫：1. 用无尘布清理灰尘2. 用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓 手够不到的地方用拖把用纯水擦拭一次以上。 要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗，在梁上不要残留下痕迹 B B：楼承板及天花板上设备机器清扫：楼承板及天花板上设备机器清扫1. 保护膜全部撕掉、用无尘布清理掉积尘2. 用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗 在配管等上面不要残留下痕迹C C：楼承板及天花板清扫：楼承板及天花板清扫1. 收拾垃圾、用拖把拖楼承板及天花板上用纯水擦拭
14、将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗 在天花板上面不要残留下痕迹D D：楼承板及天花板下设备机器清扫：楼承板及天花板下设备机器清扫1. 保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫E E：地板清扫：地板清扫1. 操作顺序是先撕掉保护膜收拾垃圾用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂对应)干燥2. 柱子阀门用水擦拭、墙壁的铝蜂巢板用擦拭的方法进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫(柱子的话事前能够清扫的地方进行清扫注意务必将作业区域跟清扫区域区分开来清洁设备清洁设备清洁棚顶设施清洁棚顶设施清
15、洁墙壁清洁墙壁清洁地面清洁地面不让灰尘不让灰尘堆积堆积- -洁净室洁净室清洁清洁顺序顺序从上往下清洁 从里往外清洁 朝一个方向清洁粘粘尘尘地地垫垫伸伸缩缩杆除杆除尘滚尘滚除除尘滚轮尘滚轮无无尘尘室室专专用吸用吸尘尘器器防静防静电电无无尘尘拖把拖把工工业业酒精酒精防静防静电电无无尘尘抹布抹布橡胶手套橡胶手套耐高温手套耐高温手套工工业业冷冷风风机机洁净室洁净室清洁清洁工具及清洁产品工具及清洁产品*洁净室必须使用专用清洁工具及清洁产品迅速排出灰尘迅速排出灰尘Relief DamperRelief DamperHEPA filterHEPA filterreturn airreturn air洁净室内注意事项洁净室内注意事项4洁净室内不能跑步1235不能拖着鞋走路禁止随意走动禁止将口罩下拉、卷起衣袖露出皮肤。禁止坐在地上或趴在设备上产品应轻拿轻放6
