纳米CMOS器件超浅结工程1. 纳米纳米CMOSCMOS器件超浅结工程器件超浅结工程1 1张露 1211022608发展超浅结离子掺杂技术的动力发展超浅结离子掺杂技术的动力及主要问题及主要问题 短沟道效应和源漏结深 源漏穿通 串联电 2022年07月01日 0 点赞 34 浏览
