第13章数字式传感器

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1、第13章 数字式传感器 第13章 数字式传感器 13.1 光栅传感器光栅传感器13.2 编码器编码器13.3 感应同步器感应同步器第13章 数字式传感器 13.1 光光 栅栅 传传 感感 器器 13.1.1 光栅的结构及工作原理光栅的结构及工作原理 1. 光栅结构光栅结构图13 1 透射光栅示意图 光栅光栅：在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹，又称为刻线a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光）， a+b=W称为光栅栅距（光栅常数）。通常a=b=W/2，也可刻成a b=1.1 0.9。第13章 数字式传感器 莫尔条纹莫尔条纹：把两块栅距相等的光栅1、光栅2面向对叠合在

2、一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角，这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹 在d - d线上，两块光栅的栅线重合，透光面积最大， 形成条纹的亮带， 它是由一系列四棱形图案构成的； 在f - f线上，两块光栅的栅线错开，形成条纹的暗带，它是由一些黑色叉线图案组成的。2. 光栅测量光栅测量图13-2 光栅莫尔条纹的形式第13章 数字式传感器 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点。 (1) 位移的放大作用 莫尔条纹的间距BH与两光栅线纹夹角之间的关系为 WWBH2sin（13 - 1） 越小，BH越大，这相当于把栅距W放大了1/倍。例如=0.1，则1/573

3、，即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍， 这相当于把栅距放大了573倍. (2) 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。 第13章 数字式传感器 13.1.2 光栅传感器的组成光栅传感器的组成光栅读数头光栅读数头: 利用光栅原理把输入量（位移量）转换成响应的电信号；光栅数显表光栅数显表: 实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 图13 3 光栅读数头结构示意图 1

4、. 光栅读数头光栅读数头 标尺光栅的有效长度即为测量范围。指示光栅比标尺光栅短得多，但两者一般刻有同样的栅距，使用时两光栅互相重叠，两者之间有微小的空隙。 标尺光栅一般固定在被测物体上，且随被测物体一起移动，其长度取决于测量范围，指示光栅相对于光电元件固定。第13章 数字式传感器 前面分析的莫尔条纹是一个明暗相间的带。从图13-2看出，两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗到渐暗，到渐亮，一直到最亮，又从最亮经渐亮到渐暗， 再到最暗的渐变过程。 主光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期，若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信号，接近于正弦周期函数(如图13 -4所示)， 如

5、以电压输出，即 WxUUumoo22sin（13 - 2） 式中： uo光电元件输出的电压信号； Uo输出信号中的平均直流分量； Um输出信号中正弦交流分量的幅值。输出电压反映了位移量的大小。 第13章 数字式传感器 输出电压uoUmUoabcdefg位移 x正最大负最大正最大图13-4 光栅位移与光强、输出电压的关系第13章 数字式传感器 2. 光栅数显表光栅数显表 光栅读数头实现了位移量由非电量转换为电量，位移是向量， 因而对位移量的测量除了确定大小之外，还应确定其方向。 为了辨别位移的方向， 进一步提高测量的精度，以及实现数字显示的目的，必须把光栅读数头的输出信号送入数显表作进一步的处理

6、。光栅数显表由整形放大电路、细分电路、辨向电路及数字显示电路等组成。 采用图13-3中一个光电元件的光栅读数头， 无论主光栅作正向还是反向移动，莫尔条纹都作明暗交替变化， 光电元件总是输出同一规律变化的电信号，此信号不能辨别运动方向。为了能够辨向，需要有相位差为/2的两个电信号。 图13 - 5为辨向的工作原理和它的逻辑电路。在相隔BH/4间距的位置上，放置两个光电元件1和2，得到两个相位差/2的电信号u1和u2（图中波形是消除直流分量后的交流分量），经过整形后得两个方波信号u1和u2。 第13章 数字式传感器 图13 5 辨向逻辑工作原理 Y1Y2AA1u2uAABB3124uu1u20 x

7、W1u2u4HB4W2W43W1、2光电元件；3、4光栅；A( )光栅移动方向；B( ) 与 A( )对应的莫尔条纹移动方向ABA（1） 辨向原理第13章 数字式传感器 (2) 细分技术所谓细分细分，就是在莫尔条纹信号变化一个周期内，发出若干个脉冲，以减小脉冲当量，如一个周期内发出n个脉冲，即可使测量精度提高到n倍，而每个脉冲相当于原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高到了n倍，因此也称之为n倍频。细分方法有机械细分和电子细分两类。四倍频细分四倍频细分第13章 数字式传感器 13.2 编编 码码 器器 将机械转动的模拟量（位移）转换成以数字代码形式表示的电信号，这类传感器称为编码器。编码