模块化学习-真空系统

《模块化学习-真空系统》由会员分享，可在线阅读，更多相关《模块化学习-真空系统（43页珍藏版）》请在文档大全上搜索。

1、设备模块化培训资料设备模块化培训资料 真空系统真空系统培训基本内容1.学习各生产工序真空（负压）系统的结构及各组成部分的功能学习各生产工序真空（负压）系统的结构及各组成部分的功能 2.了解真空系统主要部件的工作原理，技术参数要求（温度，流量，了解真空系统主要部件的工作原理，技术参数要求（温度，流量，压力）压力）3.学习电气部分是如何自动控制以保证要求的真空学习电气部分是如何自动控制以保证要求的真空4.总结各真空（负压）系统的共同点及其差异总结各真空（负压）系统的共同点及其差异目录制绒（单晶多晶）工序真空（负压）系统制绒（单晶多晶）工序真空（负压）系统扩散工序真空（负压）系统扩散工序真空（负压）

2、系统工序真空系统工序真空系统丝网印刷工序负压系统丝网印刷工序负压系统4真空定义与分类真空定义与分类真空的定义1标准大气压：在标准重力加速度g为980.665厘米/秒2，温度T为273K时，760毫米高的汞柱所施加的压强。真空是指压强低于1标准大气压的气态空间。1atm=760Torr=1.013105Pa1Torr7.5103Pa1Pa1N/m2=133.3Torrbar=0.1MPa1个标准大气压1atm的气态空间，气体分子的浓度为：2.691019个/cm3，随着压强的下降，空间气体分子的浓度不断下降，气态分子呈现出不同的物理现象，通常把压强小于1大气压的真空空间称为真空。真空按如右区域划

3、分： 1标准大气压103帕 (76010托)粗真空 103101帕 (10103托)低真空 101106帕 (13108托)高真空 1061012帕 (1081014托)超真空 1012帕 (10-14托) 极高真空5真空定义与分类真空定义与分类 压强值（托）物理现象 获得设备的特性 10 气体放电开始出现 水抽气机的极限 10-3 分子平均自由程（）为厘米级 转动泵的极限 10-8 布满清洁表面一单分子层的时间（t）为分级 扩散泵的极限 10-14 每立方厘米气体分子数（n）为100级 必须使用低温泵真空泵所能达到的压强一制程一制程工序工序系统结构：系统结构：抽风主管抽风主管抽风副管抽风副管