第5章激光干涉测试技术

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1、干涉测试技术干涉测试技术cos22121IIIIIL2mL )2/1(mLminmaxminmaxIIIIK/ LM2)() 1(mm K 1 x 0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6 + m I 图4-1 各种波长干涉条纹的叠加 + S0 S r -f 图 4-2 等厚干涉仪中的扩展光源 图4-3 光阑孔大小对干涉条纹对比度的影响 a) b) c) 如取对比度为如取对比度为0.9，可得光源的许可半径，可得光源的许可半径 rfhm2Knn21图4-4 对比度K与两支干涉光强比n的关系ImI1非期望的杂散光进入干涉场，会严重影响条纹对比度。非期望的杂散光进入干涉场，会严重影响条

2、纹对比度。设混入两支干涉光路中杂散光的强度均为设混入两支干涉光路中杂散光的强度均为 ，则，则Inmn Imax()121Inmn Imin()121Knnm21Km22Knn21EPVERMSEmax参考面HhnHhWNiiRMSENE1211n/ K2/2/BM2M1M2D1D21237456M1参考平面M2被测平面图4-15 激光斐索型平面干涉仪基本光路图h42hfd2h2h1Dmhhn)(212)rad( 212nDmDhh72. 0 2131max2 . 0222c)(nuDumuunDmrjrreAE sin22yrsin2yeAEjrr),(jooo),(yxeyxAEyeAEjr

3、roror2,EEEEEEEyxIyxyyxyyxyyxyeyxAAeyxAAyxAAeyxAeAeyxAeAyxI,j0r,j0r202r,j0jr,j0jr0000, ,yxmIyxt,yyxyxyyeAeyxmAeyxAmAeyxAAmAeAyxmIEyxtE2j2r,j0,j02rj202rrjrrt00, ,2rAyx,0 ),(j010),(),(yxeyxAyxA),(j0),(yxReRyxR211),(),(),(yxRyxAyxI),(),(j020),(),(yxyxeyxAyxA),(j0),(yxReRyxR222),(),(),(yxRyxAyxI),(),(),(

4、),(),(),(),(),(),(),(2),(),(),(),(*2*2*1*12222121yxRyxAyxAyxRyxRyxAyxAyxRyxAyxRyxAyxIyxIyxI),(),(),(),(),(),(2),(*2*121*22212yxAyxARyxAyxARyxAyxARyxH),(),(),(),(),(),(2),(),(*2*1221222212yxAyxARyxAyxARyxAyxARRyxRyxWH000jj02)( j0i022)1 (),(eeAReAeARyxW2),(cos4),(cos12),(),(),(2)( jj)( jj204*2220000yx