电子科大薄膜物理(赵晓辉)第四章 化学气相沉积 主要内容主要内容 化学气相沉积的基本原理化学气相沉积的基本原理 CVD特点特点 CVD装置装置 低压低压CVD 等离子体化学气相沉积等离子体化学气相沉积 PECVD 金属有机物化学气相沉积金属有机物化 2022年06月18日 0 点赞 46 浏览
