内容简介本门课程提供了学生动手制备微电子器件的机会,

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内容简介：本门课程提供了学生动手制备微电子器件的机会，是微电子工艺课程的实验课程。通过本门课程的教学和实验，学生有机会学习MOSFET三极管，PN结二极管，霍尔器件，接触电阻，电容等测试器件的基本原理，工艺流程和测试方法。学生将有机会在超净间里面自己动手，操作各种工艺设备，最后将器件制备出来，并进行完整的电学测试。涉及到的工艺包括光刻，湿法刻蚀，干法刻蚀，氧化，LPCVD，PECVD，扩散，溅射等。