异质外延3C-SiC薄膜生长的研究进展 异质外延异质外延3CSiC3CSiC薄膜生长的研究薄膜生长的研究进展进展 郭慧君郭慧君 2013.5.292013.5.29 u在单晶Si衬底上直接外延3CSiC薄膜，所获得的薄膜不但结晶质量差，单晶 2022年06月18日 0 点赞 49 浏览
