使用说明书北京东胜亚电气技术有限公司

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1、HSC-3500气相沉积炉计算机控制系统使用说明书前言：下列图为本控制系统对应的实际工作组成部件 为沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心局部。 为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和 丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内 过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除， 真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速， 使炉子工作在恒定的压力范围之内 加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制内容：为了使上述元器件能够协调工作，工作

2、人员更具可操作性，用于控制的计算机设 置了多重画面，多个运行参数，使得工作过程更加直观，操作更加简便，各操作画面解释如 下。启动初始画面，HSC-3500气相沉积炉计算机控制系统按“进入工作系统键进入主控画面，开始工作。主控制板在系统工作过程中起到整体监控 作用，系统运行时的主要参数都反映在本画面当中13 1?： 狀吾狀(13)(12)It 患I城1權吧对压力MJi:SSWi:S5HM:SSW:SS:UM:储丙烷r-at Aa 充/i.也/闽比=1515 |报警後幼釜(14)加热磁性调压器工作状态，显示“正常、“故障两种状态报警滚动条，显示上电状态及有报警标志 实时曲线显示，反映当前三个温度和

3、一个绝对压力随时间变化规律 炉内绝对压力数值显示，反映内部工作时的气体压力 充气管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大 小 炉内三个温区的温度数值显示，反映内部工作时的三个不同部位的温度示意条显示气体流动方向 抽空管路上的电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前开度大 小示意条显示气体流动方向 抽空管路上的1# 真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前 开度大小(11) 抽空管路上的2#真空电动蝶阀，显示该阀的工作状态包括伺服、断电状态及阀位的当前 开度大小(12) 抽空管路上的1#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行

4、、故障状态(13) 抽空管路上的2#滑阀泵，显示该阀的工作状态包括正常运行、故障状态(14) 功能按钮负责屏幕的切换，“气氛控制切换至抽空管路的控制画面，“温度控制切换 至温度参数相关的控制画面，“加温工艺切换至温度参数设定画面，“历史数据切换 至过去主意参数的记录信息画面，“事件记录切换至过去运行过程中发生的事件的记 录信息画面“气氛控制如下控制画面，充气电动蝶阀调节器为反向调节器，抽空电动蝶阀调节器为正向调节器充气电动蝶阀调卩器说明:控制范困炉内第对压力0 1000旳抽空电动嫌阀调疔器真I同I滑国案 IiPK面 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态 炉内绝对压力数值显示，截取1000

5、Pa以内的压力值，作为调节的控制反应量 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合 动作 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮， 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态， 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断 电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同按动页下面的“真空蝶阀控制画面进入下一气氛控制画面，画面内容如下:冷止卞吐碱阀工作状态即#IX空电动嫦训作状态 mtftnet助眦阀控制辭控制范围炉内絶时压力0 I000P占克Jftt

6、控出 显示该电动蝶阀的工作状态包括伺服、断电状态 炉内绝对压力数值显示，作为调节的控制反应量 实时控制设定值，通过设定该参数使炉内压力保持恒定，需要充气蝶阀和抽空蝶阀配合 动作 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示灯逐渐变亮， 控制器手动指示，显示控制器当前的工作状态， 控制器输出指示，随着输出量的增大该指示进度条向右依次全部点亮 电动蝶阀的工作状态的控制按钮，该按钮显示伺服状态时，按下为蝶阀伺服，并显示断 电，再次按下，蝶阀断电，并显示伺服，两控制器操作完全相同 电动蝶阀控制器的工作状态的控制按钮，该按钮显示手动状态时，按下为控制器手动， 并显示自动，再次按下，控制器自动，并显示手动，两控

7、制器操作完全相同 电动蝶阀控制器的手动输出，按下可弹出屏幕软件盘，进行输出设定，设定范围0-100,两控制器设定方式一致 按动页下面的“滑阀泵控制画面进入另一气氛控制画面，画面内容如下:丿F泵前请确认,前期准备工作已经就绪本冼运行时闻uln累计运行时间h运打状态i ! I ；1时工制牌#0克抽 显示1#滑阀泵的本次运行时间 单位分钟 显示1#滑阀泵的累计运行时间 单位小时运行状态显示正常/故障累计故障次数1#滑阀泵的工作状态的控制按钮，该按钮显示启动状态时，按下为1#滑阀泵启动，并显示停止，再次按下，1#滑阀泵停止，并显示启动，两控制器操作完全相同按动本页下面的“主控画面控制画面退出到主控制板

8、，按“温度控制按钮画面显示如下: 本画面共分6大功能区，分别是程序给定区，加热控制区，1#-3#温度调节区程序给定区本区可以选择所要运行的工艺曲线通过画面软件盘设定 ，运行键值2,通过画面软件 盘设定、复位键值1,通过画面软件盘设定、暂停键值4,通过画面软件盘设定、及 当前给定值setpoint的显示，据设定不同的参数完成不同的控制功能，加热控制区本区可控制电源柜的加热电源的投入、切除，并显示三路电源的投切情况，及非常态的报警显示1#温度调节区本区可显示该加温区域的当前温度值，控制输出值，报警状态，能够完成手/自动切换，条形控件输出及输出值指示2#温度调节区与1#温度调节区功能相同3#温度调节

9、区与1#温度调节区功能相同按动本页下面的“加温工艺控制画面切换到如下工作画面：力口温工艺曲段号血g:1234$7类型Type：掉錚*萍將詳卅#SFJSrf温度Temp;ms扣轴肘何 Duration：料和总糊书钾曲段g10311213L3I4i16类型Type：咖温糜Tutnp：対吟站世#aw?sms时 Mlhu:ati0n:誥UUmu3WS锂* I,英取培。酰h。代表錐按班定1代我终止上，|罪主控制板2,时叶单位井坤1 本画面为加热工艺曲线设定画面，包含曲线范例，本设定曲线为第1条曲线，下方表格中“段 号为该曲线中的段号，可设定 1-15段。表格中“类型为对应段号是哪个类型的段，也 即是说，

10、曲线中的一段，或是最终的一段，设定键值中间段设定值为0,终止段设定键值为1,表格中“温度为对应段号所有到达的温度，表格中“时间为对应段号温度所有需要 的时间，按动本页下面的“主控画面控制画面退出到主控制板，按“历史曲线按钮画面显示如下：生产工艺用史尚钱画面显示三区温度和一个绝对压力的历史记录曲线，通过屏幕下方的按键，可以滚动显示以往的数据记录，直观的再现过去的工作情况按动本页下面的“主控画面控制画面退出到主控制板，按“历史曲线按钮画面显示如下：I控制板 画面显示生产过程中发生的事件，比方什么时间翻开、关闭的阀门，什么时间翻开、关闭的加热，用否手开工作等事件进行了详尽记录、显示，直观的再现过去的工作情况本系统在使用过程中还可以进一步拓展其它便利功能， 需要使用者在生产实践中进一步体会编者 北京东胜亚电气技术 技术部 张东敖 2021-3-3 于北京